이류체 에칭

Global Dooson

이류체 에칭은 노즐을 통해 액상의 화학약품을 압축공기로 밀어내 고압분사시키는 방법

에칭 팩터(etching factor)를 좋게하므로 미세회로 구현에 적합하다는 장점이 있다.